

IL Modulo eccimeri MINl da 172 nm è una soluzione desktop compatta e plug-and-play per ricerca e sviluppo nel settore dei semiconduttori E validazione di laboratorioGrazie all'emissione di radiazioni ultraviolette sottovuoto a onde corte (VUV), questo sistema scinde i legami molecolari per eliminare i contaminanti organici e modificare l'energia superficiale senza danneggiare il substrato, offrendo una piattaforma agile per la convalida dei processi, ideale per laboratori di ricerca e università.
Modello :
EX-D75-1Irradianza centrale (@1mm) :
>10mW/cm²Uniformità dell'irradianza :
±10%Tempo necessario per raggiungere il 90% della produzione :
≤5 secondsDurata media della lampada :
>1000 hoursMetodo di raffreddamento :
Air coolingDimensioni del modulo (L×P×A) :
209×142×69 mmDimensioni dell'apertura della finestra (L×P) :
75×50 mm