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Modulo mini lampada a eccimeri da 172 nm per la lavorazione dei semiconduttori
172nm excimer lamp

Modulo mini lampada a eccimeri da 172 nm per la lavorazione dei semiconduttori

IL Modulo eccimeri MINl da 172 nm è una soluzione desktop compatta e plug-and-play per ricerca e sviluppo nel settore dei semiconduttori E validazione di laboratorioGrazie all'emissione di radiazioni ultraviolette sottovuoto a onde corte (VUV), questo sistema scinde i legami molecolari per eliminare i contaminanti organici e modificare l'energia superficiale senza danneggiare il substrato, offrendo una piattaforma agile per la convalida dei processi, ideale per laboratori di ricerca e università.

  • Modello :

    EX-D75-1
  • Irradianza centrale (@1mm) :

    >10mW/cm²
  • Uniformità dell'irradianza :

    ±10%
  • Tempo necessario per raggiungere il 90% della produzione :

    ≤5 seconds
  • Durata media della lampada :

    >1000 hours
  • Metodo di raffreddamento :

    Air cooling
  • Dimensioni del modulo (L×P×A) :

    209×142×69 mm
  • Dimensioni dell'apertura della finestra (L×P) :

    75×50 mm
  • Modulo sperimentale MINI-Eccimero da 172 nm

    Il modulo sperimentale MINI Excimer da 172 nm è progettato per la ricerca e sviluppo di processi per semiconduttori, la convalida dei processi e le prove pilota su piccola scala. Grazie al suo formato compatto e integrato, delle dimensioni di un libro, offre un punto di ingresso conveniente per le fasi iniziali dello sviluppo. Facile da usare e portatile, si integra perfettamente nelle configurazioni standard di laboratorio e sui banchi di prova ottici.
    Questo modulo rimuove efficacemente i contaminanti organici da superfici di wafer, vetro e plastica, migliorando la pulizia e l'adesione superficiale. Rappresenta una soluzione di pretrattamento affidabile per applicazioni di confezionamento, pulizia e altri processi. Raffreddato ad aria e in grado di raggiungere il 90% della potenza luminosa in 5 secondi, garantisce un'uniformità di irradianza costante per risultati sperimentali ripetibili.

    Applicazione Campi

    Semiconductor Packaging R&D

    Confezionamento di semiconduttori: ricerca e sviluppo sull'attivazione del pre-incollaggio

    I team di ricerca e sviluppo utilizzano l'EX-C300 per ottimizzare i parametri VUV a 172 nm (dose, distanza di lavoro e tempo di ciclo) per l'attivazione delle superfici di incollaggio die-attach, flip-chip e ibride. Il formato da banco fornisce dati ripetibili sull'energia superficiale, consentendo di definire una procedura di incollaggio validata prima del passaggio alla produzione.

    Wafer e substrato: pulizia organica pre-deposizione

    I ricercatori trattano wafer di prova, sia nudi che con pattern, con fotoni VUV a 172 nm per stabilire i parametri di pulizia prima dei processi ALD, CVD o PVD. Il funzionamento a temperature inferiori a 40 °C elimina qualsiasi rischio legato al budget termico, mentre i dati XPS e dell'angolo di contatto post-trattamento definiscono la dose efficace minima per la qualificazione del processo.

    Wafer & Substrate Cleaning
    FMM & Photomask Cleaning

    FMM e Photomask: pulizia organica senza danni

    Il sistema EX-C300 rimuove le incrostazioni organiche da maschere metalliche sottili e fotomaschere tramite ossidazione puramente fotochimica: nessun contatto, nessun prodotto chimico, nessun residuo. Test iterativi confermano che le caratteristiche della maschera su scala nanometrica rimangono intatte, definendo limiti di dose cumulativa e di ciclo sicuri per l'adozione in produzione.

    Materiali avanzati: modifica della superficie e controllo della bagnabilità

    I laboratori di ricerca e sviluppo per pellicole e batterie trattano pellicole polimeriche (PET, PI, COP) e fogli di elettrodi con un'esposizione controllata a 172 nm, misurando poi la riduzione dell'angolo di contatto e i miglioramenti dell'adesione. Il processo a fotoni freddi evita danni termici ai materiali sensibili e i dati risultanti vengono utilizzati direttamente per le procedure di produzione in linea: dalla fase di test alla fabbricazione.

    Advanced Materials Surface Modification

    Caratteristiche principali

    01 Design portatile

    Design compatto e leggero, pronto all'uso con sistema plug-and-play.

    02 Accensione rapida

    Emissione UV ad alta intensità a 172 nm, accensione rapida e stabile in 5 secondi.

    03 Uscita stabile

    Irradiazione uniforme per risultati di elaborazione coerenti e affidabili.

    04 Raffreddamento ad aria

    Raffreddamento ad aria, non è necessario alcun sistema di raffreddamento esterno.

    05 Servizio personalizzato

    Sono disponibili soluzioni applicative personalizzabili e servizi di sperimentazione a contratto.

    Certificazioni e conformità

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    Sistema di gestione della qualità certificato che garantisce standard di produzione di altissimo livello.

    CE Certified Declaration
    CE

    Certificato CE

    Pienamente conforme alla legislazione europea in materia di salute, sicurezza e tutela ambientale.

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    Conforme alla direttiva RoHS

    Produzione ecocompatibile, completamente priva di sostanze pericolose.

    UL Safety Certificate
    UL

    Certificato UL

    Soddisfa i rigorosi criteri nordamericani in materia di isolamento elettrico, messa a terra e sicurezza operativa.

    FAQ

    Q Quali sono le principali applicazioni del modulo EX-D75-1 a 172 nm?

    Il modulo è specificamente progettato per il pretrattamento delle superfici in laboratori e linee pilota. Le sue principali applicazioni includono la rimozione di tracce di contaminanti organici da wafer e vetro, l'attivazione e la modifica superficiale di plastiche o polimeri per migliorarne l'adesione e la convalida del processo di pulizia ultrafine prima del passaggio alla produzione automatizzata su larga scala.

    Q Questo modulo mini eccimero da 172 nm richiede un sistema di raffreddamento esterno?

    Non sono necessari refrigeratori d'acqua esterni o infrastrutture di raffreddamento complesse. L'EX-D75-1 è dotato di un sistema di raffreddamento ad aria forzata integrato, che mantiene un design leggero e compatto, pronto per l'uso su scrivania, e si adatta facilmente a diversi ambienti di laboratorio con spazi limitati, comprese le camere a guanti.

    Q Con quale rapidità il modulo riesce a raggiungere un'emissione luminosa stabile per i test?

    Il modulo è caratterizzato da un'accensione istantanea e da un'attivazione rapida e stabile, raggiungendo il 90% della sua potenza luminosa nominale totale in ≤5 secondi. Ciò riduce drasticamente i tempi di inattività tra i test di processo intermittenti in laboratorio e garantisce un'elevata uniformità di irradianza (±10%) per un'acquisizione dati affidabile.
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